[发明专利]传感器、检测方法及传感器制造方法在审
申请号: | 201980022971.7 | 申请日: | 2019-03-11 |
公开(公告)号: | CN111919110A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 小野崇人;户田雅也;栗原舞 | 申请(专利权)人: | 三井化学株式会社;国立大学法人东北大学 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00;G01G3/13;G01G3/16;G01L1/10;G01L1/18;G01N5/02 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 陈彦;郭玫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 传感器1具备:主体部132,所述主体部132为平板状,且第1方向上的第1端1321被支撑,并且具有在厚度方向上的两端面中的至少一面开口的收容空间;体积变化体14,所述体积变化体14的体积根据对象的量而发生变化,并且以至少一部分收容于收容空间的方式被主体部132支撑;以及检测部133,所述检测部133与主体部132中的第1方向上的第2端1322连接,且检测伴随体积变化体14的体积变化而产生的应力。 | ||
搜索关键词: | 传感器 检测 方法 制造 | ||
【主权项】:
暂无信息
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