[发明专利]包括主动的再调整的回归干涉仪有效
| 申请号： | 201980025503.5 | 申请日： | 2019-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN111971521B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | A·肯斯 | 申请（专利权）人： | 布鲁克光学有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01J3/453 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 吕晨芳 |
| 地址： | 德国埃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种干涉仪布置结构(1)，具有：用于可用光(3)的输入端；分束器(8)；用于建立两个干涉仪臂(13、14)的两个回归反射器(15、16)；驱动装置(24)，其用于使所述回归反射器(15、16)中的至少一个回归反射器运动，以便改变干涉仪臂(13、14)之间的光学的光程差；用于相干的参考光的参考光源(5)；用于可用光(21)的输出端；以及参考光探测器(19)，其特征在于，参考光探测器(19)具有至少三个探测器面(19a‑19d)，其中第一对探测器面(19a、19b)的探测器面沿第一方向(ER)排列，并且第二对探测器面(19a、19c)的探测器面沿第二方向(ZR)排列，并且第一方向(ER)、第二方向(ZR)和参考光(17)在参考光探测器(19)上的中间的传播方向线性独立，并且干涉仪布置结构(1)此外具有：‑用于参考光(17)的会聚元件(18)，所述会聚元件设置在分束器(8)和参考光探测器(19)之间，以用于对来自分束器(8)的参考光(17)聚焦；‑至少两个促动器(9、10)，以用于在至少两个自由度方面改变两个由干涉仪臂(13、14)往回反射的并且在分束器(8)上再次叠加的参考光子光束(11、12)之间的横向的切变；‑以及调节电子装置(38)，以用于依赖于在参考光探测器(19)的探测器面(19a‑19d)上的信号(Sa‑Sc)操控促动器(9、10)。本发明提供一种基于回归反射器的干涉仪布置结构，利用其可以保证较高的可评估的并且较稳定的可用光强度。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 主动 再调整 回归 干涉仪 | ||
【主权项】：
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