[发明专利]微器件转移方法和转移装置、以及使用该方法和装置的电子产品

摘要

本发明的实施例提供了一种微器件转移方法，该方法适用于更多不同的微器件并且能够提高转移效率。微器件转移方法包括以下步骤：以第一速率在第一方向上传送目标基板；定位附接到转移膜的微器件以便面向目标基板的顶部部分，并在第一方向上输送转移膜；在转移膜与被转移到目标基板上的微器件分离之后，使转移膜能够向上弯曲并形成弯曲弧，并使在弯曲弧形成之后被传送的上侧转移膜能够通过在目标基板之上旋转的按压辊而被按压，并使得压力能够被传输到具有附接的微器件且正被输送的下侧转移膜；以及以第二速率在与第一方向相反的第二方向上传送在形成弯曲弧之后被传送的上侧转移膜，并恢复其，其中弯曲弧的第一中心相对于第一方向还在按压辊的第二中心的前面。