[发明专利]多束检查装置在审
| 申请号： | 201980029418.6 | 申请日： | 2019-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN112041965A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 胡学让;刘学东;陈仲玮;任伟明 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 罗利娜 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种带电粒子束装置的改进的源转换单元。源转换单元包括第一微结构阵列，该第一微结构阵列包括多个微结构。多个微结构被分组为一个或多个组。一个组中的微结构的对应电极由驱动器电连接和驱动以影响对应的一组束波。一个组中的微结构可以是单极结构或多极结构。一个组中的微结构具有相对于装置的光轴的相同或基本相同的径向偏移。一个组中的微结构相对于其径向偏移方向具有相同或基本相同的取向角。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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