[发明专利]集成电路装置及制造该集成电路装置的方法在审

专利信息
申请号: 201980029795.X 申请日: 2019-05-02
公开(公告)号: CN112074953A 公开(公告)日: 2020-12-11
发明(设计)人: J-P·拉斯金;M·瑞克 申请(专利权)人: 法语天主教鲁汶大学
主分类号: H01L23/66 分类号: H01L23/66;H01L21/84;H01L27/01
代理公司: 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 代理人: 南毅宁
地址: 比利时*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 集成电路装置(100)包括具有至少为100Ω.cm的电阻率的半导体衬底(101)。电绝缘层(102)与所述半导体衬底(101)接触。所述电绝缘层(102)易于在所述半导体衬底(101)中诱导与所述电绝缘层(102)相接的寄生表面传导层。电路(103)位于所述电绝缘层之上。所述电路(103)包括能够在所述半导体衬底中诱导电场的部分(105)。所述集成电路装置(100)包括耗尽诱导结(108、109),所述耗尽诱导结(108、109)的至少一部分包含在所述半导体衬底(101)中。所述耗尽诱导结(108、109)能够在所述半导体衬底(101)中自主地诱导耗尽区,所述耗尽区与所述电绝缘层(102)的位于所述电路(103)的两个部分(104、105)之间的部分相接。
搜索关键词: 集成电路 装置 制造 方法
【主权项】:
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