[发明专利]对象物的表面测定装置及测定方法有效
| 申请号： | 201980030769.9 | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN112105889B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 赵南圭;金敏圭;白尚祐 | 申请（专利权）人： | 汉阳大学校ERICA产学协力团 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30;G01B21/20;G06F17/10;G01B21/32 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开对象物的表面测定装置。对象物的表面测定装置包括：支撑部，用于放置测定对象物；至少3个探针，用于测定上述测定对象物的表面；以及驱动部，使上述支撑部和上述至少3个探针中的一个相对于另一个进行相对驱动。 | ||
| 搜索关键词： | 对象 表面 测定 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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