[发明专利]氟系溶剂含有物的纯化方法和含氟系溶剂纯化物在审

专利信息
申请号: 201980037745.6 申请日: 2019-07-25
公开(公告)号: CN112236216A 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 菅原充;太田圭祐;叶内政信 申请(专利权)人: 日本瑞翁株式会社
主分类号: B01D61/14 分类号: B01D61/14;B01D71/36;C07C23/08;C07C29/74;H01L21/304
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 杨卫萍;刘继富
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种用于减少氟系溶剂含有物中包含的微粒的纯化方法、以及微粒被减少了的含氟系溶剂纯化物。氟系溶剂含有物的纯化方法包含使用由包含氟原子的材料形成的过滤器过滤至少包含氟系溶剂的氟系溶剂含有物的过滤工序,过滤氟系溶剂含有物时的上述过滤器的单位有效过滤面积的通液速度小于0.2mL/分钟·cm2
搜索关键词: 溶剂 含有 纯化 方法 含氟系
【主权项】:
暂无信息
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