[发明专利]正形碳膜沉积有效
| 申请号： | 201980039203.2 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN112262227B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | P·曼纳;A·玛里克 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;H01L21/02;H01L21/311;C23C16/56;H01L21/308 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本公开描述了用于在基板上沉积非晶碳层的方法。基板被暴露于具有式(I)的结构的碳前驱物。本公开还描述了蚀刻基板的方法，所述方法包括通过将基板暴露于具有式(I)的结构的碳前驱物来在基板上形成非晶碳硬掩模。 |
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| 搜索关键词： | 正形碳膜 沉积 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
