[发明专利]对在多个位置处的物体成像的装置在审
| 申请号： | 201980039536.5 | 申请日： | 2019-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN112292640A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | Y·弗拉迪米斯基;R·J·瓦德;M·阿里夫;L·雷日科夫;R·V·古纳瓦达纳 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种用于对处于多个位置(400；410)中的任何一个位置处的物体成像的系统，该系统包括：一个或多个分束器(420)，每个分束器(420)将来自物体的光分成成像束和连续束；以及用于每个分束器的光学元件，该光学元件接收成像束并且在物体处于相应位置时对物体成像。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 物体 成像 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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