[发明专利]控制微振荡反射镜的驱动设备的方法、控制装置和偏转反射镜设备在审

专利信息
申请号: 201980040268.9 申请日: 2019-06-04
公开(公告)号: CN112703417A 公开(公告)日: 2021-04-23
发明(设计)人: J.尼斯;J.申克;M.克莱瑟 申请(专利权)人: 法雷奥开关和传感器有限责任公司
主分类号: G01S7/481 分类号: G01S7/481;G02B26/10;G01S17/931
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 王蕊瑞
地址: 德国比蒂希*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 描述了一种用于控制微振荡反射镜的驱动装置的方法、控制设备和偏转反射镜设备。在该方法中,生成至少一个致动信号(20)且将其用于控制驱动装置使得驱动装置以振荡的方式驱动微振荡反射镜。捕获表征微振荡反射镜的偏转(22)的至少一个位置信号(26)。基于至少一个位置信号(26)调节至少一个控制信号(20),使得微振荡反射镜以其共振频率被驱动。将至少一个位置信号(26)的振幅与至少一个阈值连续地比较。在至少一个位置信号(26)通过至少一个阈值的至少两个通行之间的至少一个时间间隔被确定。基于至少一个时间间隔调节至少一个控制信号(20)。例如,控制信号(20)是脉冲宽度调制的信号。在该情况下,单极方波脉冲以周期性间隔生成。控制信号(20)的脉冲控制驱动装置的梳状驱动器,使得微振荡反射镜被激励以振荡。转换为振幅改变的梳状驱动器的梳状电容作为位置信号(26)被输出。为了使控制信号(20)的占空比适配于微振荡反射镜的共振频率,将位置信号(26)与阈值进行比较。在位置信号(26)通过阈值的特定通行之间确定对应的时间间隔。相应地,基于时间间隔调适控制信号(20)的占空比。
搜索关键词: 控制 振荡 反射 驱动 设备 方法 装置 偏转
【主权项】:
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