[发明专利]传感器探针组件在审
| 申请号： | 201980041203.6 | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN112703407A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | S·乔丹 | 申请（专利权）人： | 物理仪器（PI）两合有限公司 |
| 主分类号： | G01Q20/04 | 分类号： | G01Q20/04;G01B7/012;G01N21/95;G01Q70/02;G01Q70/10;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张婧晨;刘茜 |
| 地址： | 德国卡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种传感器探针组件包括探针以及联接到探针的传感器组件。传感器组件测量与探针接近或接触的表面的物理特性或电特性。传感器组件围绕探针的中心轴线对称地安置。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 探针 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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