[发明专利]静电卡盘用供电装置及基板管理方法

摘要

本发明提供一种静电卡盘用供电装置，在将被处理基板设置于静电卡盘上后，吸附被处理基板并实施处理，直到在处理后对吸附进行释放并运输被处理基板为止的一系列操作期间，可掌握被处理基板相对于静电卡盘的状态。本发明的静电卡盘用供电装置(PS1)具有：直流电源部(6a、6b)，其向静电卡盘(Ec)上设置的电极(3a、3b)施加直流电压；及交流电源部(7)，其流通经过静电卡盘的静电电容的交流电流。还具有切换装置(8a、8b)，以为了将被处理基板吸附保持在静电卡盘上而从直流电源部向电极施加卡盘电压的电路为第一电路(C1)，以对被处理基板进行除电用的电路作为第二电路(C2)，所述切换装置(8a、8b)切换第一电路和第二电路；在第二电路上设置有交流电源部和测量交流电流或交流电压的电压计(9)。