[发明专利]使用可流动CVD对用于光学部件的微米/纳米结构所进行的间隙填充有效
| 申请号： | 201980043803.6 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN112384831B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 傅晋欣;卢多维克·戈代;韦恩·麦克米兰 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G02B1/04;G02B27/01 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容的实施方式一般涉及一种用于形成光学部件的方法，该光学部件例如用于虚拟现实或扩增实境显示设备。一个实施方式中，该方法包括，在基板上形成具有图案的第一层，且该第一层具有第一折射率。该方法进一步包括，通过可流动化学气相沉积(FCVD)工艺在该第一层上形成第二层，且该第二层具有小于该第一折射率的第二折射率。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 流动 cvd 用于 光学 部件 微米 纳米 结构 进行 间隙 填充 | ||
【主权项】：
暂无信息
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