[发明专利]微发光二极管阵列平版印刷术在审
| 申请号： | 201980044364.0 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN112334837A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | D·马克莱 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述一种平版印刷术设备，具有：基板扫描系统，经配置以扫描基板；图案发生器，经配置以接收输入信号和产生输出信号，所述输出信号与图案相关；和光源，所述光源连接到所述图案发生器，其中所述光源是至少一个微发光二极管阵列，其中所述阵列经配置以接收来自所述图案发生器的所述信号并重复由所述图案发生器产生的所述图案。 | ||
| 搜索关键词： | 发光二极管 阵列 平版 印刷术 | ||
【主权项】：
暂无信息
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