[发明专利]复合密封件有效
| 申请号： | 201980044418.3 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN112469932B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 金相镐;黑田路 | 申请（专利权）人： | 株式会社华尔卡 |
| 主分类号： | F16J15/10 | 分类号： | F16J15/10;H01L21/31 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 韩俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 技术问题是提供一种复合密封件，该复合密封件兼具真空密封性能、耐等离子性、耐腐蚀气体性等性能，使用时不需要较强的按压力，无产生颗粒之虞，并且能够长期地维持真空密封性能，该技术问题的解决手段的特点是，所述复合密封件是由第一构件和第二构件左右相邻而成的环状的复合密封件，其中，所述第一构件包括密封主体部以及从所述密封主体部朝向所述复合密封件的厚度方向的上侧延伸设置的唇部，所述第一构件的唇部朝向与相邻的所述第二构件相反一侧的外侧以倾斜姿势延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 密封件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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