[发明专利]感光性树脂组合物、感光性片材、以及它们的固化膜及其制造方法、电子部件在审
申请号: | 201980044700.1 | 申请日: | 2019-08-05 |
公开(公告)号: | CN112368641A | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 荒木齐;富川真佐夫;诹访充史;小林秀行 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/029;G03F7/031;G03F7/20;G03F7/40 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 牛蔚然 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的课题在于提供下述感光性树脂组合物,所述感光性树脂组合物具有良好的图案加工性,且将其于低温进行固化而得到的固化膜具有高耐化学药品性、高弹性、高伸长率特性及与金属(特别是铜)的高密合性。本发明为感光性树脂组合物,其含有:(A)树脂,其为选自由环氧树脂、聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体及聚硅氧烷组成的组中的任1种以上;(B)热产碱剂;及(C)感光剂,该(B)热产碱剂含有胍衍生物或双胍衍生物中的任1种以上,该(C)感光剂含有(c‑1)光产酸剂及/或(c‑2)光自由基聚合引发剂。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 以及 它们 固化 及其 制造 方法 电子 部件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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