[发明专利]压电器件在审
| 申请号： | 201980049717.6 | 申请日： | 2019-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN112514088A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 岸本谕卓;池内伸介 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/113;H01L41/187 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 朴云龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明具备基部(110)和薄膜部(120)。薄膜部(120)被基部(110)间接地支承，位于比基部(110)靠上侧。薄膜部(120)包含多个层。薄膜部(120)与基部(110)不重叠，且包含单晶压电体层(130)、上部电极层(140)、以及下部电极层(150)。在薄膜部(120)设置有在上下方向上贯通的贯通槽(180)。贯通槽(180)在构成薄膜部(120)的多个层中的最厚的层中形成有第1台阶部(181)。贯通槽(180)的宽度以第1台阶部(181)为界，下侧变得比上侧窄。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所，未经株式会社村田制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980049717.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
