[发明专利]用于修改支撑表面的工具在审
| 申请号： | 201980049963.1 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN112534354A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | B·D·肖尔滕;P·A·M·比勒肯斯;关天男;T·林德伊杰;H·A·梅哈格诺尔;J·M·W·范德温克尔;C·J·P·M·范努南;H·T·J·F·范弗塞维尔德;M·M·P·A·韦尔默朗 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B24B37/14;B24B37/12;B24B37/16;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于修改衬底保持器(20)的衬底支撑元件(21)的工具(1)，所述衬底支撑元件具有用于支撑衬底的支撑表面(22)，所述工具包括具有主体表面(3)的主体(2)，其中所述工具包括自所述主体表面的多个突起部(4)，所述多个突起部具有被配置成接触所述支撑表面并且修改所述衬底支撑元件的远端(5)。此外，公开了一种光刻设备和包括这种工具的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 修改 支撑 表面 工具 | ||
【主权项】：
暂无信息
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