[发明专利]处理化学液体的方法在审
| 申请号： | 201980054173.2 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN112638517A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 玛西亚·克尔-约克姆;布莱恩·亨齐;麦可·巴克;杰克·赫泽尔;黄圣宾;佩吉曼·亚麦迪恩纳米尼;陈媛 | 申请（专利权）人： | 美国富士电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J20/10 | 分类号： | B01J20/10;B01D15/00;B08B3/00;C02F1/42;H01L21/02;H01L21/302 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 美国罗德岛州北金斯敦*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种处理化学液体方法。所述方法包括：至少提供具有至少一个过滤介质的系统；用铁(Fe)及钙(Ca)含量为约10十亿分率或小于10十亿分率的处置液体处置所述系统；以及在所述处置工艺之后使用其中配置有所述系统的设备处理所述化学液体。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 化学 液体 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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