[发明专利]板状部件的制造方法和层叠体在审
申请号: | 201980054256.1 | 申请日: | 2019-10-25 |
公开(公告)号: | CN112567539A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 国本知道;浅野秀树 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | H01L33/50 | 分类号: | H01L33/50;G02B5/20 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;徐飞跃 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种能够抑制板状部件的形状不良且能够提高成品率的板状部件的制造方法。一种通过切割板状部件的母材(11)来制造多个板状部件的方法,其特征在于,包括:准备具有彼此相对的第一主面(11a)和第二主面(11b)的板状部件的母材(11)的工序;在板状部件的母材(11)的第一主面(11a)形成分割槽(12a、13a)的工序;在板状部件的母材(11)的第二主面(11b)粘贴支承膜(14)的工序;以覆盖板状部件的母材(11)的第一主面(11a)的方式粘贴粘附膜(17)的工序;和通过在板状部件的母材(11)上粘贴有粘附膜(17)的状态下,从支承膜(14)侧按压板状部件的母材(11)的形成有分割槽(12a、13a)的区域,来沿着分割槽(12a、13a)切割板状部件的母材(11)的切割工序。 | ||
搜索关键词: | 部件 制造 方法 层叠 | ||
【主权项】:
暂无信息
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