[发明专利]可动部位置检测方法、基板处理方法、基板处理装置以及基板处理系统有效
| 申请号： | 201980056745.0 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN112639391B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 冲田有史;犹原英司;角间央章;增井达哉 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 差异运算部(92)计算基准图像(80)中的各卡盘销(26)的位置与对象图像(82)中的各卡盘销(26)的位置之间的差异。判定区域设定部(932)在对象图像(82)中设定用于检测喷嘴(30)的位置的判定区域(DR)。此时，判定区域设定部(932)根据作为标识部的各卡盘销(26)之间的位置差异，对基准图像(80)中设定的基准判定区域(SDR)的位置进行修正，从而在对象图像(82)中设定判定区域(DR)。 | ||
| 搜索关键词： | 部位 检测 方法 处理 装置 以及 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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