[发明专利]微机械构件和用于微机械构件的制造方法在审
| 申请号： | 201980059926.9 | 申请日： | 2019-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN112689784A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | T·沙里;R·伯森德费尔;K·德塞尔;J·米哈列维奇;J·穆霍;F·沙茨;J·里德里希-莫勒;A·埃贝施佩歇尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;H01L41/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械构件，具有支架(10)、可调整部件(12)和第一曲折形弹簧(16a)和与第一曲折形弹簧(16a)关于第一对称平面(18)镜面对称地构造的第二曲折形弹簧(16b)，其中，构造有第一致动器装置(24a)和第二致动器装置(24b)，使得借助于所述第一致动器装置(24a)和所述第二致动器装置(24b)能够激励出所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的并且关于所述第一对称平面(18)镜面对称的变形，其中，微机械构件也包括分别沿着旋转轴(32)延伸的第一扭转弹簧(26a)和第二扭转弹簧(26b)，其中，所述可调整部件(12)能够至少借助于所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的和镜面对称的变形关于所述支架(10)围绕所述旋转轴(32)进行调整。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 构件 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
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