[发明专利]目标形成装置在审
| 申请号： | 201980062516.X | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112753285A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | G·O·瓦斯琴科 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00;H01L41/313 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于极紫外光源的系统包括：毛细管，毛细管包括从第一端延伸到第二端的侧壁，侧壁包括外壁和内壁，内壁限定从第一端延伸到第二端的通道；被配置为定位在毛细管的外壁处的致动器；以及在外壁与致动器之间的粘合剂，粘合剂被配置为机械耦合致动器和毛细管，其中粘合剂占据由于固化而保持基本相同或膨胀的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 目标 形成 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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