[发明专利]感光性树脂组合物、图案固化膜的制造方法、固化膜、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件在审

专利信息
申请号: 201980065135.7 申请日: 2019-10-02
公开(公告)号: CN113168101A 公开(公告)日: 2021-07-23
发明(设计)人: 东绫香;阿部悟志;山崎范幸 申请(专利权)人: 艾曲迪微系统股份有限公司
主分类号: G03F7/027 分类号: G03F7/027;C08F290/00;G03F7/004;G03F7/20;G03F7/40
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 陈彦;郭玫
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种感光性树脂组合物,其包含:(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前体、(B)下述式(1)所示的化合物、(C)光聚合引发剂以及(D)热自由基产生剂。(式(1)中,A为2价有机基团,不含丙烯酰基或甲基丙烯酰基。R1~R4各自独立地为氢原子或碳原子数1~4的脂肪族烃基。n1和n2各自独立地为1~20的整数。m1和m2各自独立地为0或1。)。
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 图案 固化 制造 方法 绝缘 覆盖 涂层 表面 保护膜 电子 部件
【主权项】:
暂无信息
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