[发明专利]感光性树脂组合物、图案固化膜的制造方法、固化膜、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件在审
申请号: | 201980065135.7 | 申请日: | 2019-10-02 |
公开(公告)号: | CN113168101A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 东绫香;阿部悟志;山崎范幸 | 申请(专利权)人: | 艾曲迪微系统股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;C08F290/00;G03F7/004;G03F7/20;G03F7/40 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 陈彦;郭玫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
一种感光性树脂组合物,其包含:(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前体、(B)下述式(1)所示的化合物、(C)光聚合引发剂以及(D)热自由基产生剂。(式(1)中,A为2价有机基团,不含丙烯酰基或甲基丙烯酰基。R |
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搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 图案 固化 制造 方法 绝缘 覆盖 涂层 表面 保护膜 电子 部件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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