[发明专利]氧化膜厚测量装置以及该方法有效
| 申请号： | 201980066338.8 | 申请日： | 2019-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN112805531B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 乾昌广;高松弘行;中西良太 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;C23C2/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴克鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的氧化膜厚测量装置针对将膜厚测量范围划分的多个子膜厚测量范围分别存储有膜厚与发光亮度的对应关系的膜厚转换信息，在该子膜厚测量范围内，相对于膜厚变化的发光亮度变化之比处于设定范围内，多个发光亮度测量部各自以不同的多个测量波长测量钢板表面的发光亮度，针对多个发光亮度测量部各自测量的钢板表面的各发光亮度，通过使用与该发光亮度测量部相对应的膜厚转换信息，求出与该测量的发光亮度相对应的膜厚和该膜厚下的比，并且在该求出的比处于与该膜厚转换信息相对应的设定范围内的情况下，将该求出的膜厚作为实际的膜厚的候选值而提取。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 测量 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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