[发明专利]用于容器的光罩支撑件在审
| 申请号： | 201980067825.6 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112840272A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | A·M·蒂班;S·D·埃格姆;R·V·拉施克;B·怀斯曼;王华平 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/62 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于支撑工件的容器，所述工件包含围绕所述工件的上边缘及下边缘的倒角。所述容器包含门及能够与所述门耦合以在所述容器内界定隔离环境的壳体。所述容器包含安装到所述门的工件支撑件。所述工件支撑件包含支撑柱。所述支撑柱经配置以在工件的边角处支撑所述工件。所述支撑柱包含第一倾斜壁。第二倾斜壁在所述第一倾斜壁的底部处。所述第二倾斜侧壁经配置以支撑工件。所述第一倾斜壁及所述第二倾斜壁以不同非零斜率定向。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 容器 支撑 | ||
【主权项】：
暂无信息
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