[发明专利]感应耦合等离子体分析系统以及感应耦合等离子体分析方法在审
申请号: | 201980070596.3 | 申请日: | 2019-11-01 |
公开(公告)号: | CN112930477A | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 寺本庆之;胁坂昭弘 | 申请(专利权)人: | 国立研究开发法人产业技术综合研究所 |
主分类号: | G01N21/73 | 分类号: | G01N21/73 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 金鲜英;钟晶 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种感应耦合等离子体分析系统,对被供给了测定对象的试料的等离子体的发光状态进行测定,该感应耦合等离子体分析系统具备:光谱仪,其将被设定于等离子体的测定区域中的发光分解为多个波长分量;检测装置,其对被分解后的光的空间分布进行检测;测定装置,其按每一个与至少试料通过测定区域的时间相比较短的测定单位时间,而对被检测出的空间分布进行测定。 | ||
搜索关键词: | 感应 耦合 等离子体 分析 系统 以及 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国立研究开发法人产业技术综合研究所,未经国立研究开发法人产业技术综合研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201980070596.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。