[发明专利]感应耦合等离子体分析系统以及感应耦合等离子体分析方法在审

专利信息
申请号: 201980070596.3 申请日: 2019-11-01
公开(公告)号: CN112930477A 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 寺本庆之;胁坂昭弘 申请(专利权)人: 国立研究开发法人产业技术综合研究所
主分类号: G01N21/73 分类号: G01N21/73
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 金鲜英;钟晶
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种感应耦合等离子体分析系统,对被供给了测定对象的试料的等离子体的发光状态进行测定,该感应耦合等离子体分析系统具备:光谱仪,其将被设定于等离子体的测定区域中的发光分解为多个波长分量;检测装置,其对被分解后的光的空间分布进行检测;测定装置,其按每一个与至少试料通过测定区域的时间相比较短的测定单位时间,而对被检测出的空间分布进行测定。
搜索关键词: 感应 耦合 等离子体 分析 系统 以及 方法
【主权项】:
暂无信息
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