[发明专利]激光加工装置及激光加工方法有效
| 申请号： | 201980071724.6 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN113165119B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 坂本刚志;是松克洋 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/53 | 分类号： | B23K26/53;H01L21/301 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 激光加工装置具备支撑部、照射部及控制部。照射部具有以与激光的光轴垂直的面内的聚光区域的一部分的形状具有长边方向的方式成形激光的成形部。控制部具有：决定部，其基于对象物信息及线信息，将线的第1部分的长边方向的朝向决定为第1朝向，以使长边方向与聚光区域的一部分的移动方向交叉；及调整部，其调整第1部分的长边方向的朝向以成为被决定的第1朝向。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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