[发明专利]单个单元灰度散射术重叠目标及其使用变化照明参数的测量在审
| 申请号： | 201980076145.0 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN113039407A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | A·玛纳森;Y·帕斯卡维尔;E·阿米特 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27;G01B9/02;G01N21/47;G03F7/20;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供散射术重叠SCOL测量方法、系统及目标以实现具有裸片中目标的有效SCOL计量。方法包括通过以下项产生信号矩阵：以至少一个照明参数的多个值且在SCOL目标上的多个光点位置照明所述目标，其中所述照明是以产生光点直径1μ的NA(数值孔径)1/3；测量零级及第一衍射级的干扰信号；及相对于所述照明参数及所述目标上的所述光点位置从测量信号建构所述信号矩阵；及通过分析所述信号矩阵而导出目标重叠。所述SCOL目标的尺寸可减小到相对于现有技术目标的十分之一，这是因为需要较少且较小目标单元，且容易设置于裸片中以改进计量测量的准确性及保真度。 | ||
| 搜索关键词： | 单个 单元 灰度 散射 重叠 目标 及其 使用 变化 照明 参数 测量 | ||
【主权项】：
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