[发明专利]泵送单元在审
申请号: | 201980077269.0 | 申请日: | 2019-11-15 |
公开(公告)号: | CN113167277A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | S·布兰多林;M·鲁斯科尼;J·瓦朗坦;Y·格勒尼耶 | 申请(专利权)人: | 普发真空公司 |
主分类号: | F04C25/02 | 分类号: | F04C25/02;F04C29/04;F04C18/12;F04C23/00 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 雷明;吴鹏 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种泵送单元,其包括:‑粗真空泵;‑罗茨真空泵(3),该罗茨真空泵包括泵送级(7),该泵送级具有定子(9),在该定子内,两个罗茨转子(5)被配置成以相反方向同步旋转,以在入口孔(10)和出口孔(11)之间驱动待泵送的气体;‑管线(13),该管线将所述出口孔(11)连接至所述粗真空泵(2)的入口(12),其特征在于,所述出口孔(11)的边缘和所述泵送级(7)中的每个转子(5)之间的最短距离(d)至少小于3厘米。 | ||
搜索关键词: | 单元 | ||
【主权项】:
暂无信息
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