[发明专利]分析装置和图像生成方法

摘要

本发明提供一种用于对检查对象体的检查结果进行分析的分析装置，所述检查对象体形成有分别具有在电气检查时因与探针接触而形成针迹的电极的多个检查对象器件，所述分析装置包括显示图像的显示部和生成所述显示部所要显示的图像的图像生成部，所述图像生成部基于关于所述针迹的检查结果的信息来生成分析用图像，所述分析用图像具有：针迹散点图的图像，其重叠地表示所述检查对象器件各自的所述针迹相对于所述电极的位置的；检查对象体映射图像，其表示有所述检查对象体的所述检查对象器件的形成面，且在与所述检查对象器件分别对应的位置显示了关于该检查对象器件的针迹检查结果；和所述电极的拍摄图像，所述针迹散点图的图像、所述检查对象体映射图像和所述拍摄图像各自的显示内容是相互联动的。