[发明专利]基板输送装置及其运行方法在审
| 申请号： | 201980079455.8 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN113165189A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 斋藤雅行;福岛崇行 | 申请（专利权）人： | 川崎重工业株式会社 |
| 主分类号： | B25J13/08 | 分类号： | B25J13/08;H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王培超;刘晓岑 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及基板输送装置及其运行方法，基板输送装置(101)保持并输送基板(1)。该基板输送装置(101)具备保持基板(1)的机械手(20)、安装有机械手(20)的操纵装置(30)、以及配置于机械手(20)并探测距基板(1)的主面的距离的基板检测器(60)。优选基板检测器(60)配置于机械手(20)的前端部。优选基板检测器(60)是静电电容传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 及其 运行 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于川崎重工业株式会社，未经川崎重工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980079455.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：人工瓣膜递送组件
- 下一篇：用于为助听器燃料电池加燃料的系统
