[发明专利]石英玻璃坩埚、及使用该石英玻璃坩埚的单晶硅的制造方法、石英玻璃坩埚的红外线透射率测定方法及制造方法在审
| 申请号： | 201980086251.7 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN113348275A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 北原贤;福井正德;岸弘史;片野智一;北原江梨子 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C03B20/00;C30B15/10;F27B14/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 梅黎 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够提高氧浓度低的单晶硅的制造成品率的石英玻璃坩埚。本发明的石英玻璃坩埚(1)具有圆筒状的侧壁部(10a)、底部(10b)、以及连接侧壁部(10a)与底部(10b)的角部(10c)，所述石英玻璃坩埚(1)具备：透明层(11)，由不含气泡的石英玻璃构成；气泡层(12)，形成在透明层(11)的外侧，由包含多个气泡的石英玻璃构成；以及半熔融层(13)，形成在气泡层12的外侧，原料二氧化硅粉在半熔融的状态下凝固而成。去除半熔融层(13)的状态下的角部(10c)的红外线透射率为25～51％，去除半熔融层(13)的状态下的角部(10c)的红外线透射率比侧壁部(10a)的红外线透射率低，去除半熔融层(13)的状态下的侧壁部(10a)的红外线透射率比底部(10b)的红外线透射率低。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 坩埚 使用 单晶硅 制造 方法 红外线 透射率 测定 | ||
【主权项】：
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