[发明专利]利用填充液体从多个腔中选择性地填充一组腔的方法在审
| 申请号： | 201980088429.1 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN113302752A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 埃马纽埃尔·奥里尔;法布里斯·埃米厄;弗雷德里克·罗克斯;乌尔里希·休坡瑞曼内恩;希尔维亚·斯卡林盖拉;蒂费纳·杜邦;克莱门斯·塔莱特;阿布德海·阿波莱奇 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会;奥雷迪亚公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/20;H01L33/08;H01L33/18;H01L33/44;H01L33/50 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 江海;姚开丽 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | S 66194GR‑G‑EXT PCT 29摘要本发明涉及一种利用填充液体(15)选择性地填充多个腔(10)之中的第一腔(11)的方法，每个腔在衬底的正面(21)处向外打开，该方法包括以下步骤：a)处理步骤，旨在改变第一腔(11)的第一内表面(12)的表面能或其他腔的第二内表面(122)的表面能，使得第一表面(12)具有第一表面能，且第二表面具有第二表面能；b)包括用于散布填充液体(15)的序列的步骤；调节第一能量和第二能量，使得第一表面和第二表面分别对液体(15)施加吸引效应和排斥效应。用于摘要的1个图：图2d。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 填充 液体 多个腔中 选择性 一组 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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