[发明专利]谐振器以及谐振装置在审
| 申请号： | 201980094259.8 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN113574800A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 西村俊雄;维莱·卡亚卡里 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 郭忠健 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种谐振器以及谐振装置，提高振动的限制性。谐振器(10)具备：振动部(120)，包括Si基板(F2)、形成于Si基板(F2)的一个主面的金属层(E1)、以及配置于Si基板(F2)与金属层(E1)之间的压电薄膜(F3)，振动部(120)以轮廓振动为主振动而振动；保持部(140)，形成为包围振动部(120)的至少一部分；以及支承单元(110)，连接振动部(120)和保持部(140)，振动部(120)具有在一个主面去除压电薄膜(F3)而成的凹部(121)。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 以及 谐振 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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