[发明专利]真空泵有效

专利信息
申请号: 201980095506.6 申请日: 2019-06-19
公开(公告)号: CN114096753B 公开(公告)日: 2023-06-09
发明(设计)人: 岩下航己;茂木幸太郎 申请(专利权)人: 樫山工业株式会社
主分类号: F04C25/02 分类号: F04C25/02;F04C29/04
代理公司: 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 代理人: 王轶;李伟
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在真空泵(1)中,规定泵室(2)的两端的侧板(6、7)为构成为包括第1、第2板(20、30)的分割结构的板。在第1、第2板(20、30)之间形成有加热器设置用的狭缝(8、9),薄膜加热器(10、11)以与泵室侧的第1板(20)面接触的状态而装配于狭缝(8、9)内。利用薄膜加热器(10、11)从内部对侧板(6、7)直接进行加热,所以能够高效地提高泵室内壁部分的加热效率,能够高效地抑制生成物的附着、堆积。
搜索关键词: 真空泵
【主权项】:
暂无信息
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