[发明专利]数据驱动的错位参数配置与测量的系统及方法

摘要

本发明涉及一种数据驱动的错位参数配置与测量的系统及方法，所述方法包含：使用多个测量参数配置集来模拟选自旨在为相同的一批多层半导体装置中的至少一个多层半导体装置的多个测量模拟，由此产生所述至少一个多层半导体装置的模拟数据；识别选自所述多个测量参数配置集中的至少一个经推荐测量参数配置集；提供选自所述一批多层半导体装置中的多层半导体装置；将所述至少一个经推荐测量参数配置集提供到具有多个可能测量参数配置集的错位计量工具；使用所述至少一个经推荐测量参数配置集来测量选自旨在为相同的所述一批多层半导体装置中的至少一个多层半导体装置，由此产生所述至少一个多层半导体装置的测量数据；其后识别最终经推荐测量参数配置集；及使用所述最终经推荐测量参数配置集来测量选自旨在为相同的所述一批多层半导体装置中的至少一个多层半导体装置的错位。