[发明专利]对位掩膜板、对位机构、对位掩膜板的制备方法有效
| 申请号： | 202010002592.6 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111088473B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 赵钰;徐鹏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种对位掩膜板，包括金属框架和固定于所述金属框架上的至少一个对位掩膜条，所述对位掩膜条上设置有对位标记，所述对位掩膜条为条状结构，每个所述对位掩膜条固定于所述金属框架的一个边框上，所述对位掩膜条的宽度小于所述金属框架相应的边框的宽度，且所述对位掩膜条的内侧边缘与所述金属框架相应的边框的内侧边缘平齐，或者所述对位掩膜条的内侧边缘位于所述金属框架的相应的边框上。本发明还涉及一种对位机构及对位掩膜板的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 对位 掩膜板 机构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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