[发明专利]一种套刻标记方法、套刻测量方法及套刻标记有效
| 申请号： | 202010003058.7 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111162056B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 万浩;卢绍祥;李伟;郭芳芳;陆聪;轩攀登 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李洋;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开一种套刻标记方法、套刻测量方法及套刻标记，其中，所述套刻标记方法包括：在第一材料层上形成N个第一标记，所述每个第一标记包括P个第一子标记，所述第一子标记的形状为通过多个块状图形而形成的长条状；在所述第一材料层之后形成第二材料层；在所述第二材料层上形成与每一所述第一标记一一对应的N个第二标记，所述每个第二标记包括Q个长条状的第二子标记；其中，N、P和Q均为大于1的整数，且P大于Q；其中，所述第一标记的宽度大于所述第二标记的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 标记 方法 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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