[发明专利]多个元件的电气指标测试方法、装置及电子设备在审
| 申请号： | 202010003397.5 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111220830A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 左宁;党景涛;高慧莹 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/04;G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 徐丽 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多个元件的电气指标测试方法、装置及电子设备，获取多个待测元件后，将设定数量的待测元件固定在设定的夹具上；通过飞针设备及图像采集设备对预先获取的待测元件的测试文件进行修正；基于修正后的测试文件，通过飞针设备对各个待测元件的设定的电气指标进行测试。本发明通过对多个待测元件的批量化夹持及校准，提高了对大量的待测元件的测量效率，降低了人工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 元件 电气 指标 测试 方法 装置 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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