[发明专利]旋转及定位复数测物的方法有效
| 申请号： | 202010005817.3 | 申请日： | 2020-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN113074675B | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 邹昀庭;陈守猷;叶政杰 | 申请（专利权）人： | 台湾中华精测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;G01B21/02;G01B21/20;G01B21/28 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本揭示提供一种旋转及定位复数测物的方法，包含下列步骤：提供旋转装置及传感器；利用旋转装置使第一测物沿旋转轴进行第一次旋转；利用传感器量测第一测物于第一次旋转中的投影面积的变化曲线，以定义第一估算特征；利用第一估算特征计算粗定位角度以分别旋转复数后续测物进行粗定位；分别旋转复数后续测物进行细定位，以逼近复数后续测物的真实特征所在的位置，藉此提高制程效率。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 定位 复数 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾中华精测科技股份有限公司，未经台湾中华精测科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010005817.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：丝印网版的制版方法
- 下一篇：一种含有基体和纤维的编码的防伪标签和防伪方法
