[发明专利]一种沉积设备及其沉积方法在审
| 申请号： | 202010011427.7 | 申请日： | 2020-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN113073305A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 肖守均;林子平;李刘中;安金鑫;张雪 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 李发兵 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示屏加工技术领域，具体涉及一种沉积设备及其沉积方法，其包括：产品出入口，所述产品出入口用于供产品的进出；溅射沉积室，所述溅射沉积室用于对产品进行溅射沉积；气相沉积室，所述气相沉积室用于对产品进行气相沉积；真空搬运腔，所述真空搬运腔分别于所述溅射沉积室、气相沉积室和产品出入口相连通，所述真空搬运腔中具有真空环境并设有用于将产品在溅射沉积室、气相沉积室和真空大气转换腔之间进行搬运的搬运工具；本发明在溅射沉积室和气相沉积室之间的搬运时间较短，满足连续加工的需求，且其搬运环境为真空环境，有效地避免了产品与空气等介质的接触，有效地保证了产品的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
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