[发明专利]检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 202010012577.X | 申请日： | 2020-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN113075216A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;张鹏斌;刘健鹏;张嵩;范铎;李海卫 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;G01N21/894;G01N21/01 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种检测装置及检测方法，包括第一光学系统和第二光学系统，所述第一光学系统用于对待测物进行第一检测，得到所述待测物表面的待检出对象分布信息；所述第二光学系统用于根据所述待检出对象分布信息对所述待测物进行第二检测，得到待检出对象细节信息，所述第二光学系统的检测精度高于所述第一光学系统的检测精度。采用本申请的检测装置可提升检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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