[发明专利]长晶炉及晶体生长系统有效
| 申请号： | 202010015477.2 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN113151894B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 张岩;赵子强;李宪宾;邓少奎;鲍慧强;陈菲菲 | 申请（专利权）人： | 中科钢研节能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 林治辰;邱成杰 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种长晶炉及晶体生长系统，所述长晶炉包括炉体(110)、盖体(120)以及驱动组件；所述炉体(110)具有能够容纳坩埚的腔室，所述炉体(110)的顶部开设有与所述腔室连通的通孔；所述盖体(120)设置在所述炉体(110)的顶部，所述盖体(120)与所述驱动组件连接，所述驱动组件能够驱动所述盖体(120)在关闭所述通孔的遮挡位置以及让开所述通孔的打开位置之间移动；其中，所述盖体(120)设置为：所述盖体(120)位于所述打开位置时能够允许所述坩埚竖直地通过所述通孔以使所述坩埚在所述腔室和外界之间移动。本发明的长晶炉能够方便地装取坩埚。 | ||
| 搜索关键词： | 长晶炉 晶体生长 系统 | ||
【主权项】：
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