[发明专利]一种化学机械研磨设备在审
| 申请号： | 202010022650.1 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111185831A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 杨老又 | 申请（专利权）人： | 杨老又 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B37/34;B24B55/00;B24B57/02;B24B49/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械研磨设备，其结构包括底板、立柱、水平检测装置、研磨板、出液管、储液罐、顶板、气缸、压板、转轴，底板与设在上方的顶板相平行，底板两侧分别通过立柱与顶板相连接，气缸垂直连接在顶板底部，气缸底部与压板垂直连接，研磨板设在压板下方，研磨板通过转轴安装在底板上，储液罐连接在立柱上，储液罐底部设有出液管，出液管管口设在研磨板上方，水平检测装置安装在底板上，本发明的有益效果是：通过2个弹簧杆能够根据研磨板的高度变化进行变化，再经过杠杆结构进行放大，通过报警主机的是否水平来判断研磨板的水平状态，能够及时对工作人员进行提醒，便于及时进行调整，从而保证研磨的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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