[发明专利]一种消除负阻效应的RC-IGBT器件结构有效
申请号: | 202010023986.X | 申请日: | 2020-01-09 |
公开(公告)号: | CN111211167B | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | 王颖;张孝冬;于成浩;曹菲 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/06;H01L21/331 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 杨舟涛 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种消除负阻效应的RC‑IGBT器件。该RC‑IGBT器件与传统器件相比,在N型集电区和P型集电区上方有混合交替排列的N型和P+型缓冲层,且最靠近N型集电区的P+柱边缘超过N型缓冲层。由于上述混合交替排列N型和P型的缓冲层对场截止区的多区段的隔离作用,电子或空穴需要爬过多个P型区域,增长了载流子运动路径,从而增大了RC‑IGBT器件在导通初期N型集电区上方电势差,使得该PN结更容易开启,器件更容易从单极导通转换为双极导通,进而抑制了RC‑IGBT器件在导通初期所产生的Snapback效应。 | ||
搜索关键词: | 一种 消除 效应 rc igbt 器件 结构 | ||
【主权项】:
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