[发明专利]多晶硅生产中尾气处理方法及系统有效
| 申请号： | 202010025944.X | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN113117442B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 李万存;冯茹涛;吴友成;王正云;李军;刘兴平 | 申请（专利权）人： | 新疆新特晶体硅高科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/60 | 分类号： | B01D50/60;B01D53/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;杜丹丹 |
| 地址： | 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本公开提供一种多晶硅生产中尾气处理方法及系统，其中，所述方法包括：将待处理混合气通入第一分离装置，得到第一处理混合气及硅粉固渣；将所述硅粉固渣排放至残渣处理装置；将所述第一处理混合气通入急冷塔，得到第一氯硅烷气体及含有杂质的氯硅烷残液；收集所述第一氯硅烷气体，将其冷凝为第一液相氯硅烷后输送至所述第一分离装置；将所述氯硅烷残液通入第二分离装置，在所述第二分离装置中对所述氯硅烷残液进行固液分离，得到氯硅烷清液和硅粉浑浊液；将所述氯硅烷清液输送至急冷塔；将所述硅粉浑浊液排放至残渣处理装置。本公开实施例至少可以解决相关技术中氯硅烷的固含量过高所导致的管道及设备运行周期缩短、维修成本过高等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 尾气 处理 方法 系统 | ||
【主权项】：
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