[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202010031679.6 | 申请日: | 2015-04-16 |
公开(公告)号: | CN111463264A | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 森诚悟;明田正俊 | 申请(专利权)人: | 罗姆股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/16 | 分类号: | H01L29/16;H01L29/739;H01L29/78;H01L27/06 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 何欣亭;陈岚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的半导体装置,包括:由第1导电型的SiC构成的半导体层;在所述半导体层的表面部形成多个并分别构成单位单元的第2导电型的主体区域;形成在所述主体区域的内侧的第1导电型的源极区域;隔着栅极绝缘膜而与所述主体区域对置的栅极电极;在所述半导体层的背面部相邻地形成的第1导电型的漏极区域及第2导电型的集电极区域;以及所述主体区域与所述漏极区域之间的漂移区域,所述集电极区域以在沿着所述半导体层的表面的X轴上覆盖至少包含两个所述单位单元的区域的方式形成。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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