[发明专利]半导体装置在审

专利信息
申请号: 202010031679.6 申请日: 2015-04-16
公开(公告)号: CN111463264A 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 森诚悟;明田正俊 申请(专利权)人: 罗姆股份有限公司
主分类号: H01L29/16 分类号: H01L29/16;H01L29/739;H01L29/78;H01L27/06
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 何欣亭;陈岚
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的半导体装置,包括:由第1导电型的SiC构成的半导体层;在所述半导体层的表面部形成多个并分别构成单位单元的第2导电型的主体区域;形成在所述主体区域的内侧的第1导电型的源极区域;隔着栅极绝缘膜而与所述主体区域对置的栅极电极;在所述半导体层的背面部相邻地形成的第1导电型的漏极区域及第2导电型的集电极区域;以及所述主体区域与所述漏极区域之间的漂移区域,所述集电极区域以在沿着所述半导体层的表面的X轴上覆盖至少包含两个所述单位单元的区域的方式形成。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
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