[发明专利]芯片封装结构及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202010038805.0 申请日: 2020-01-14
公开(公告)号: CN113192895A 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 何崇文 申请(专利权)人: 何崇文
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L23/498;H01L23/48;H01L21/56
代理公司: 北京世誉鑫诚专利代理有限公司 11368 代理人: 仲伯煊
地址: 中国台湾台北*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明提供一种芯片封装结构及其制作方法。芯片封装结构包括以下步骤。提供已形成有多个导电块与至少一金属层的载板。载板包括基材以及溅镀于基材上的不锈钢层。基材具有多个第一凹槽以及环绕第一凹槽的至少一第二凹槽。不锈钢层共形地覆盖第一凹槽与第二凹槽,而定义出多个第三凹槽与至少一第四凹槽。导电块填满第三凹槽。金属层覆盖不锈钢层、导电块以及第四凹槽而定义出至少一第五凹槽。配置至少一芯片于第五凹槽内。形成至少一线路结构层于载板上。线路结构层的图案化线路层与芯片的多个电极电性连接。分离载板与线路结构层,以暴露出导电块与金属层。
搜索关键词: 芯片 封装 结构 及其 制作方法
【主权项】:
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