[发明专利]用于制造显示设备的设备在审
| 申请号： | 202010041297.1 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN111575651A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 张熙宣;尹相皓;林在夏;成箕运 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/20;C23C14/12;C23C14/08;C23C14/58;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘美华;刘灿强 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种用于制造显示设备的设备，所述设备包括：腔室，被构造为具有位于腔室中的显示基底和掩模组件；沉积源储存器，连接到腔室，沉积源储存器具有开口部分并与腔室连通；遮蔽器，位于沉积源储存器的开口部分处，并且被构造为选择性地遮蔽沉积源储存器的开口部分；沉积源，位于沉积源储存器中以面对显示基底；以及分离驱动器，连接到沉积源储存器，并且被构造为将沉积源储存器的一部分与沉积源储存器分离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 显示 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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